プラズマの測定装置及び関連技術

  装置・技術

（１）新型プラズマ測定装置
・特徴：
絶縁状態でプラズマ測定が可能な装置を世界で初めて開発しました。絶縁壁容器内プラズマや各種高周波プラズマの測定が0.5秒の短時間で可能です。



  • データ測定の実際(pdf)


    　　　　　

  • 新型プラズマ測定装置技術資料２：A new emissive-probe method for electron temperature measurement in radio-frequency plasmas (See Paper Publications))

  • 新型プラズマ測定装置技術資料3: A New Floating-Probe for Measurement of Insulated Plasma Produced by Radio-Frequency Power (See Paper Publications)





（２）プラズマ測定に関する技術支援
・内容：
弊社提供の上記”新型工業プラズマ測定装置による測定の実際について技術支援致します。また、各種のプラズマ測定全般について技術相談に応じます。

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